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Metodo di produzione di nitruro di silicio

May 17, 2020

Esistono due metodi di produzione per i prodotti ceramici in nitruro di silicio, vale a dire il metodo di sinterizzazione a reazione e il metodo di sinterizzazione a pressatura a caldo. Il metodo di sinterizzazione di reazione consiste nel formare polvere di silicio o una miscela di polvere di silicio e polvere di nitruro di silicio secondo il metodo generale di produzione di prodotti ceramici. Quindi nel forno di nitrurazione, viene pre-nitrurato a 1150 ~ 1200 ° C. Dopo aver ottenuto una certa resistenza, può essere lavorato sulla macchina utensile e quindi nitrurato ulteriormente a 1350 ~ 1450 ° C per 18 ~ 36 ore fino a quando diventa nitruro di silicio. .

I prodotti realizzati in questo modo sono precisi nelle dimensioni e stabili nel volume. Il metodo di sinterizzazione per pressatura a caldo consiste nel sinterizzare la polvere di nitruro di silicio e una piccola quantità di additivi (come MgO, Al2O3, MgF2, AlF3 o Fe2O3, ecc.) A una pressione superiore a 19,6 MPa e 1600 ~ 1700 ℃. In generale, i prodotti realizzati con il metodo di sinterizzazione a pressatura a caldo hanno una densità più elevata e prestazioni migliori rispetto ai prodotti realizzati con la sinterizzazione a reazione. La tabella 1 elenca le proprietà della ceramica al nitruro di silicio prodotta con questi due metodi.


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