Henry Edin St. Claire Deville e Friedrich Wheeler riportarono per la prima volta la sintesi del nitruro di silicio nel 1857. Nel metodo di sintesi riportato, un altro crogiolo riempito di silicio fu sepolto in un crogiolo riempito di carbonio e riscaldato per ridurre l'infiltrazione di ossigeno. Hanno riferito di un prodotto di quello che hanno chiamato nitruro di silicio, ma non hanno capito la sua composizione chimica.
Nel 1879, Paul Schuetzenberger mescolò il silicio con il rivestimento (una pasta che può essere usata come rivestimento del crogiolo, ottenuto mescolando carbone, carbone o coca cola con argilla) e lo riscaldò in un altoforno e lo riferì come ingrediente. un composto di Si3N4.
Nel 1910, Ludwig Weiss e Theodor Engelhardt riscaldarono Si con azoto puro per ottenere Si3N4. Nel 1925, Friederich e Sittig usarono il metodo di riduzione termica del carbonio per convertire silice e carbonio in atmosfera di azoto. Riscaldare a 1250-1300 ℃ per sintetizzare il nitruro di silicio.
